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產品詳情
簡單介紹：
S型（分離型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
S型（分離型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
S型（分離型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
詳情介紹：
S型（分離型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
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S型（分離型），熱清潔室，潔凈室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
根據溫度變化的伸縮和位置精度的設備，在細微測量設備等的設備上通過清潔空氣調節濕度控制，排除在設置地方環境變動的影響。
配合客戶的需求，對應所有特殊對應品的要求。
製品のポイント
- 清浄度はISOクラス４(クラス10)です。
- ±0.1℃～±0.005℃の溫度コントロールが可能です。
- 內蔵裝置に合わせた設計が可能です。
- 複數の保護回路により**性を考慮しました。
- 製品**の原因となる粒子、ガスの付著防止や溫度?濕度の変化による膨張、収縮防止のための、高度清浄環境、高精度の溫度?濕度環境の創出します。
- 濕度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低濕度仕様のご要望にもお応えします。
- PID制御、超精密部品および溫度精度に合わせた気流システムを採用しており、溫度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能です。
規格?仕様について
| Cタイプ（エンクロージャー型） |
?測長機、ステッパーに*適な機器です。
?濕度制御機構、送風機、HEPAフィルターを內蔵した空調機と作業域(チャンバー）にて構成されています。 ?チャンバーには自動シャッター(電気、圧空)、內部裝置の操作確認用窓、メンテナンス用扉を取付けることができます。 ?HEPAフィルターを天井に配置した垂直層流タイプと橫に配置した水平層流タイプがあります。 |
|---|---|
| Bタイプ（開放型） |
?プロジェクションアライナー用
?垂直層流型クリーンベンチの背面に溫度制御機構付き空調機を內蔵したオープンタイプの機器です。 ?據付面積が小さく、また移動が容易なキャスター付で取扱性に優れています。 |
| Sタイプ（分離型） |
?電子ビーム描畫裝置、処理風量50m/min以下の小型機器に*適です。
?空調機を作業域(チャンバー)から分離してダクト方式を採用したことにより、 騒音、振動、電磁ノイズ等を遮斷します。 また正面?両側面?背面の４方向から內部裝置を操作できます。 ?吸込口と作業域をダクト連結した循環方式の機器もあります。 |
| 主な用途 |
|
| 半導體製造 |
ステッパー（縮小投影露光裝置）、アライナー、電子ビーム描畫裝置
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| 表示パネル製造 |
液晶パネル、プラズマディスプレイ、FED
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| 精密加工 |
鏡面研磨機、レーザー加工機、磁気ヘッド切削機、精密レンズ研磨機、CD-R?DVD-R用スピンコーター
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| 精密測定器 |
精密測長機、２次元?３次元測長機
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| バイオロジカリー |
精密顕微鏡、溫濕度変化を嫌う試料の取扱い等
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